Rulle-till-rulle-sputtring

Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

Sputteranläggning GVE/Optilab: Rulle-till-rulle-anläggning för avsättning av ultratunna skikt (i nanometerområdet). Anläggningen kan applicera olika material (metaller, transparenta ledande skikt) på filmmaterial. Den är utrustad med flera sputterkatoder, vilket möjliggör samtidig avsättning av flera tunna skikt.

Dcsdpewi Sp Aefx Af Rsn
GVE, Bobst Ltd, Optilab, 2010, vakuum rulle-till-rulle sputterverktyg med 3 deponeringskammare för 2 katoder vardera; Komplett med: - 520 mm banbredd, bi-direktionell lindning med inter- och de-interleave-funktion. Turbomolekylär pumpning (maglev) i alla zoner. Kyltrumma, återuppvärmningsenhet (-20 till +200 °C). 1100 polycold-enhet med kryospolar i varje sputterzon samt i lindningszonen. En GVE AC medelfrekvens plasmaenhet. Ett efterbeläggningssystem för resistansövervakning (mäter resistans på bandets mittlinje). Siemens WIN CC pekskärm för styrning av maskin och övervakning. IR-värmezon (3 värmeenheter). Bandförspänningssystem (PSU, etc). 1 gen mag med 2 x 20 kW pulserad DC. 1 dual mag med 2 x 10 kW pulserad DC (med dold anod). Massflödesregulatorer, etc. 1 x fullständigt integrerat PEM sputterkontrollsystem. Ursprungligt pris: 1'450'000 euro.

Annonsen översattes automatiskt och vissa översättningsfel kan ha inträffat.