Wafer Front-End-modul 300 mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Wafer Front-End-modul 300 mm
BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Fast pris plus moms
59 750 €
Tillverkningsår
2010
Skick
Begagnad
Plats
Dresden 

Visa bilder
Visa karta
Uppgifter om maskinen
- Maskinbeteckning:
- Wafer Front-End-modul 300 mm
- Tillverkare:
- BROOKS ASYST
- Modell:
- Spartan EFEM Sorter
- Tillverkningsår:
- 2010
- Skick:
- begagnad
Pris och plats
Fast pris plus moms
59 750 €
- Plats:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Ringa
Erbjudandets detaljer
- Annons-ID:
- A20798077
- Referensnummer:
- LW43278
- Uppdatering:
- senast den 05.01.2026
Beskrivning
Brooks Automation Wafer Front-End Modul, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Modell: ASYST Spartan EFEM
Fsdpfx Afjx I Ax Sswepd
Typ: Sorter
Skick: Begagnad
Tekniska data:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Allmänt:
300 mm EFEM med 3 lastportar, renrums-minimiljö och integrerad wafer-transferrobot
Denna enhet är ett Equipment Front End Module (EFEM) av typen ASYST Spartan, utvecklat för helautomatiserad hantering av 300 mm kiselwafers i halvledartillverkning.
Den har tre lastportar, en minimiljö för renrum med ULPA-luftfilter, intern belysning, omfattande säkerhetskontroller samt alla nödvändiga gränssnitt för integrering i produktionsanläggningar.
Dessutom är en fullt integrerad wafer-transferrobot installerad, som tar upp wafers från FOUP/kassettlastportar, singulerar och överför dem exakt till efterföljande processmoduler.
Tillverkningsår: 2010-12-27
Inkluderar CD med användar-, service- och installationsmanualer (9701-3060-01 Rev G)
Annonsen har översatts automatiskt. Översättningsfel kan förekomma.
Modell: ASYST Spartan EFEM
Fsdpfx Afjx I Ax Sswepd
Typ: Sorter
Skick: Begagnad
Tekniska data:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Allmänt:
300 mm EFEM med 3 lastportar, renrums-minimiljö och integrerad wafer-transferrobot
Denna enhet är ett Equipment Front End Module (EFEM) av typen ASYST Spartan, utvecklat för helautomatiserad hantering av 300 mm kiselwafers i halvledartillverkning.
Den har tre lastportar, en minimiljö för renrum med ULPA-luftfilter, intern belysning, omfattande säkerhetskontroller samt alla nödvändiga gränssnitt för integrering i produktionsanläggningar.
Dessutom är en fullt integrerad wafer-transferrobot installerad, som tar upp wafers från FOUP/kassettlastportar, singulerar och överför dem exakt till efterföljande processmoduler.
Tillverkningsår: 2010-12-27
Inkluderar CD med användar-, service- och installationsmanualer (9701-3060-01 Rev G)
Annonsen har översatts automatiskt. Översättningsfel kan förekomma.
Leverantör
Observera: Registrera dig gratis eller logga in, för att få tillgång till all information.
Registrerad sedan: 2014
98 Annonser online
Skicka förfrågan
Telefon & Fax
+49 351 8... annonser
Din annons har raderats framgångsrikt
Ett fel har uppstått


































