Magnetron-sputteranläggning

VON ARDENNE VISS 300

Vi erbjuder en begagnad vertikal sputteranläggning från ARDENNE VISS 300.

Anläggningen är från år 2002 och utökades 2016 med ett tredje kammare.

Anläggningen har en sluss samt de 3 kammarna med magnetronsputterenheter SSM750RF från Ardenne.

Detta inkluderar 1 generator från Trumpf Hüttinger PFG2500RF.

Det finns även en dubbel magnetronsputterkälla som för närvarande inte är installerad, samt tillhörande styrutrustning från Astral.

Det finns en temperaturkontrollenhet för en av de två kylkretsarna för att hålla en konstant temperatur, t.ex. 38°C, samt 2 externa kylaggregat med värmeväxlare.

Psdpfx Aqszp Ep Tswjgp
I kammarna har zinkoxid (ZnO) och zinksulfid (ZnS) sputterats.

Anläggningen användes fram till slutet av maj 2026 och stängdes av utan att några defekter uppstod.

Anläggningen har regelbundet underhållits av operatören och är i mycket gott skick.

Innan leverans kommer vi att utföra service på alla installerade förvakuumspumpar och turbopumpar (byte av lager).

På begäran kan montering och driftsättning på plats bokas till.

Om du är intresserad av anläggningen, står vi gärna till tjänst för att svara på ytterligare frågor.

Annonsen har översatts automatiskt. Översättningsfel kan förekomma.